|
|
|
|
|
Đơn vị:
|
Đại học Hàng Hải
|
|
|
|
Tiêu đề:
|
Semiconductor fabrication: Technology and metrology
|
|
|
|
Tác giả:
|
Disnesh C. Gupta
|
|
|
|
Từ khóa/ Chủ đề:
|
Chất bán dẫn
Vật liệu bán dẫn
|
|
|
|
Tóm tắt:
|
Silicon crytal and epitaxial deposition techniques. Fabrication technology. Microcontamination. Metallization and interconnects. Material defects and gettering. Control charts, standard and specifications. Workshop and panel discussions
|
|
|
|
Người biên mục:
|
PTH
|
|
|
|
Năm xuất bản:
|
1981
|
|
|
|
Ngôn ngữ:
|
Vie
|
|
|
|
Nơi chứa:
|
Để tìm hiểu thêm, bạn đọc vui lòng liên hệ với Thư viện: Tổ Nghiệp vụ P. 213 nhà C6. Email: thuviendhhh@gmail.com.
|
|
|
|
Số trang:
|
475 tr.
|
|
|